SSI
SSI在科学家团队的带领下,以科学精神为指引,确定了PVD工作站+超高真空互联+表征仪器等高端真空仪器设备为未来的产品方向及精品战略。经过数年持续不断的努力,SSI研制出具有自主知识产权的以MBE(分子束外延)、UHV-Sputter(超高真空磁控溅射)、PLD(激光脉冲沉积)、EBE(电子束蒸发)、TES(热蒸发)等为代表的薄膜设备,以及AES(俄歇)等表征仪器,并通过UHV LTS(超高真空互联系统)将上述PVD工作站与表征仪器工作站互联起来实现原位分析。这些装备已经大量被中国科学院下属诸多研究所、清华大学、北京大学、南京大学、上海科技大学、南方科技大学等高校实验室采购使用,广泛应用于中国的基础科研。掌握多项核心技术,拥有数项专利专著。
评论