矽翔微机电系统（上海）有限公司认领

矽翔微机电设计和生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程MEMS气体流量计，核心部件MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发，可用于各类气体流量计量和测控。近年来公司发明了热飞行时间微流测控技术、场压力传感技术和MEMS涡街流量技术，为传统的流体计量带来了根本性变革，提供了全新的拓展空间。