简介
主要从事集成电路、MEMS,第三代化合物半导体,硅片厂,科研院校等领域湿法制程设备、附属清洗设备,以及自动化设备的生产与销售为一体的装备制造企业。主要产品包括WET Bench(湿法蚀刻清洗系列)、Parts clean(附属零部件清洗)、Loadport、SMIF(移载传送设备)、N2 loadport改造,Gas box(气体柜)、Facility(辅助设备)等设备。同时公司与多所院校研究所合作,逐步提升公司的技术实力与产品竞争力,成为有担当有影响力的半导体企业。
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