简介
西安恒拓微电子装备有限公司,是一家压印光刻机生产商,以IC光刻机装备和工艺材料开发、MEMS设计制造为主,为用户提供电子束直写光刻机、双面紫外光曝光机、多种CVD机、磁控溅射机、RIE/ICP刻蚀机等产品,应用于光学通信器件、生物微流道芯片等领域。 西安恒拓微电子装备有限公司,是一家压印光刻机生产商,以IC光刻机装备和工艺材料开发、MEMS设计制造为主,为用户提供电子束直写光刻机、双面紫外光曝光机、多种CVD机、磁控溅射机、RIE/ICP刻蚀机等产品,应用于光学通信器件、生物微流道芯片等领域。
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