微导纳米认领

江苏微导纳米科技股份有限公司以原子层沉积(ALD)技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。公司目前产品主要以批量式(管式)ALD设备为主。在半导体领域，ALD设备仍基本由境外厂商垄断，公司是行业内极少数的新进入者和国产厂商代表之一，先后获得多家知名半导体公司的商业订单，并在报告期内实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破。